अर्धचालक उत्पादन प्रक्रिया में, वेफरों को काटने की गति का कोई महत्व नहीं है, यदि UV डिबॉन्डिंग प्रक्रिया सही तरह से काम न करे। यदि UV स्रोत सही तरह से काम न करे, तो चिपकने वाली परत क्षतिग्रस्त हो जाती है, जिससे वेफर बर्बाद हो जाते हैं, एवं उत्पादन प्रक्रिया रुक जाती है। सटीकता कोई वैकल्पिक विशेषता नहीं है… यह तो उत्पादन प्रक्रिया का ही महत्वपूर्ण हिस्सा है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
गैलियम आयोडाइड लैंप, 405 नैनोमीटर की तरंगदैर्घ्य पर प्रकाश उत्सर्जित करते हैं… जो कि कई UV-आधारित चिपकने वाली पदार्थों के अवशोषण हेतु उपयुक्त है। ऐसे में लघु-तरंगदैर्घ्य वाले UV किरणों से होने वाली समस्याओं से बचा जा सकता है। पावर सप्लाई को ऐसा होना चाहिए कि वह लैंप के वोल्टेज एवं ऊर्जा स्तर को नियंत्रित रखे… ताकि प्रत्येक बार एक ही स्तर पर ऊर्जा उपलब्ध हो। हम ड्राइवर को लैंप की इम्पीडेंस कर्व के अनुरूप सेट करते हैं… ताकि हजारों चक्रों में भी ऊर्जा स्तर स्थिर रहे।
यह वेफरों को अलग करने हेतु क्यों उपयुक्त है?
चिपकने वाली परतों को जल्दी से अलग करने हेतु, शक्य होने पर तापमान को कम रखना आवश्यक है। गैलियम आयोडाइड लैंप, उचित तरंगदैर्घ्य पर प्रकाश उत्सर्जित करके चिपकने वाली परतों को जल्दी से अलग करते हैं… जिससे तापमान भी कम रहता है। इसके परिणामस्वरूप चिपकने वाली परतें जल्दी ही अलग हो जाती हैं… एवं लैंप की आयु भी बढ़ जाती है… आमतौर पर 5,000 घंटे से अधिक। इसके अलावा, ऊर्जा भी बचती है… क्योंकि प्रकाश की तरंगदैर्घ्य नियंत्रित रहती है… एवं पावर सप्लाई लैंप पर अतिरिक्त दबाव नहीं डालता।
क्या चीजें हैं जिनका अनुभव से ही पता चलता है?
गैलियम आयोडाइड लैंपों हेतु उनकी विद्युत विशेषताओं के अनुरूप ही पावर सप्लाई आवश्यक है… ये मानक मर्क्युरी वेपर सिस्टमों का विकल्प नहीं हैं। रिफ्लेक्टरों का सही तरीके से समायोजन आवश्यक है… एवं क्वार्ट्ज पर धूल न हो… क्योंकि धूल से प्रकाश बिखर जाता है… एवं ऊर्जा स्तर भी प्रभावित हो जाता है। अपने UV सेंसर को 405 नैनोमीटर पर ही कैलिब्रेट करें… क्योंकि 365 नैनोमीटर पर कैलिब्रेट करने से पढ़ने वाले मान गलत हो जाते हैं। थर्मल मैनेजमेंट भी आवश्यक है… क्योंकि स्थिर तापमान से ही ऊर्जा स्तर स्थिर रहता है… एवं लैंप की आयु भी बढ़ जाती है।