
ในกระบวนการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ ความเร็วในการหั่นแผ่นวีเวอร์นั้นไม่สำคัญเลย หากขั้นตอนการใช้แสงอัลตราไวโอเลตเพื่อแยกแผ่นวีเวอร์ออกจากกันไม่สามารถทำได้อย่างมีประสิทธิภาพ หากมีแหล่งกำเนิดแสงอัลตราไวโอเลตที่ให้แสงที่ไม่สม่ำเสมอ หรือทำให้ฟิล์มกาวเสียหาย ก็จะส่งผลให้เกิดความเสียหายกับแผ่นวีเวอร์ และทำให้กระบวนการผลิตหยุดชะงัก ความแม่นยำไม่ใช่เรื่องที่ควรมีเพียงเล็กน้อยเท่านั้น แต่เป็นสิ่งสำคัญที่สุด
สิ่งที่สำคัญจริงๆ ทางด้านเทคนิค หลอดไฟกาเลียมไอโอไดด์จะปล่อยแสงในช่วงความยาวคลื่นประมาณ 405 นาโนเมตร ซึ่งตรงกับช่วงความยาวคลื่นที่ฟิล์มกาวที่ใช้แสงอัลตราไวโอเลตในการแข็งตัวสามารถดูดซับแสงได้ดี ดังนั้นจึงไม่มีแสงอัลตราไวโอเลตความยาวคลื่นสั้นที่ก่อให้เกิดความร้อนหรือโอโซน แหล่งจ่ายไฟจะต้องควบคุมกำลังไฟและแรงดันไฟให้อยู่ในระดับที่เหมาะสม เพื่อให้แสงที่ออกมามีความสม่ำเสมอ และช่วยให้กระบวนการแยกแผ่นวีเวอร์เป็นไปอย่างมีประสิทธิภาพ เราต้องปรับแรงดันไฟให้เหมาะสมกับค่าอิมพีแดนซ์ของหลอดไฟ และควบคุมอุณหภูมิของหลอดไฟให้คงที่ตลอดหลายพันรอบการใช้งาน
เหตุใดวิธีนี้จึงเหมาะสำหรับการแยกแผ่นวีเวอร์ เราต้องการให้การแยกแผ่นวีเวอร์เกิดขึ้นอย่างรวดเร็ว โดยมีการสร้างความร้อนให้กับแผ่นวีเวอร์ให้น้อยที่สุด หลอดไฟกาเลียมไอโอไดด์จะปล่อยแสงในความยาวคลื่นที่เหมาะสม เพื่อให้ฟิล์มกาวแตกออกจากกันได้อย่างรวดเร็ว โดยยังคงความร้อนไว้ในระดับต่ำ ผลที่ได้คือการแยกแผ่นวีเวอร์ที่รวดเร็วขึ้น มีของเสียน้อยลง และอายุการใช้งานของหลอดไฟก็ยาวนานขึ้น โดยปกติจะสามารถใช้งานได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมง นอกจากนี้ยังช่วยประหยัดพลังงานอีกด้วย เพราะแสงที่ออกมามีความสม่ำเสมอ และแหล่งจ่ายไฟไม่จำเป็นต้องให้กำลังไฟมากเกินไป
สิ่งที่ต้องระวัง หลอดไฟกาเลียมไอโอไดด์ต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่เหมาะสมกับลักษณะการทำงานของหลอดไฟ ไม่สามารถนำมาใช้แทนระบบหลอดไฟปรอทธรรมดาได้ การจัดตำแหน่งของตัวสะท้อนแสงก็ต้องถูกต้อง และควรรักษาความสะอาดของหลอดไฟให้ดี เพราะฝุ่นบนหลอดไฟหรือตัวสะท้อนแสงจะทำให้แสงกระจัดกระจาย และส่งผลให้ความหนาแน่นของพลังงานเปลี่ยนแปลง ควรตรวจสอบให้แน่ใจว่าเซ็นเซอร์วัดแสงอัลตราไวโอเลตถูกปรับให้วัดค่าที่ 405 นาโนเมตร มิฉะนั้นค่าที่วัดได้จะผิดพลาด นอกจากนี้ยังต้องควบคุมอุณหภูมิให้คงที่ เพื่อให้แสงที่ออกมามีความสม่ำเสมอ และช่วยให้อายุการใช้งานของหลอดไฟยาวนานขึ้น