На линии производства полупроводников скорость резки пластинок не имеет значения, если процесс разделения поверхностей с помощью ультрафиолетового излучения не может сопровождаться соответствующей скоростью. Если источник ультрафиолетового излучения работает некорректно, если он недостаточно эффективен или же повреждает клеевой слой, то это приводит к повреждению пластинок, их отбраковке и простою оборудования. Точность — это не просто желательное свойство; это ключевой фактор для успешной работы оборудования.
Что действительно важно с технической точки зрения Лампы на основе галлия щелочного элемента излучают свет в узком спектре, средняя длина волны которого составляет около 405 нм. Эта длина волны соответствует длине волны поглощения многих клеев, которые затвердевают под действием ультрафиолетового излучения. Таким образом, не возникает проблем, связанных с коротковолновым ультрафиолетом, который вызывает повышение температуры и образование озона. Питательное устройство должно контролировать мощность излучения и напряжение лампы, чтобы спектр излучения оставался стабильным — таким образом, интенсивность излучения и плотность энергии, достигаемая на каждой поверхности, будут одинаковыми. Необходимо также сопоставить параметры питания с характеристиками индуктивности лампы, контролировать процесс нагрева лампы и сохранять постоянное напряжение в течение тысяч циклов работы.
Почему это подходит для разделения поверхностей пластинок Необходимо быстро разрушить связи между частями пластинки, при этом минимизировать нагрев самой пластинки. Лампы на основе галлия щелочного элемента излучают свет в нужной длине волны, что позволяет быстро разрушить связи между частями пластинки при minimуме нагрева. Это позволяет ускорить процесс разделения поверхностей, снизить количество бракованных изделий, а также обеспечить длительный срок службы лампы — обычно более 5000 часов при стабильном уровне излучения. Кроме того, экономится энергия, поскольку излучение направлено точно в нужную область, а питательное устройство не перегружает лампу.
Чего следует избегать Лампы на основе галлия щелочного элемента требуют специального питания, настроенного под их электрические характеристики; они не могут заменить стандартные лампы на основе ртути. Необходимо точно настроить положение отражателя, а кварцевый корпус должен быть чистым — пыль на лампе или отражателе может нарушить процесс излучения и изменить плотность энергии. Убедитесь, что ваш датчик ультрафиолетового излучения настроен на длину волны 405 нм; показания датчика будут неточными, если он настроен на длину волны 365 нм. Также необходимо правильно контролировать температуру лампы — стабильная температура обеспечивает стабильность излучения и увеличивает срок службы лампы.