Trong quy trình sản xuất bán dẫn, tốc độ cắt wafer không còn quan trọng nữa nếu bước tách keo bằng tia UV không thể hoạt động hiệu quả. Nếu nguồn tia UV không hoạt động đúng cách, khiến lớp keo bị cháy hoặc chưa kịp đông cứng, thì wafer sẽ bị hư hại, và dây chuyền sản xuất sẽ phải ngừng hoạt động. Độ chính xác trong quy trình này không chỉ là yếu tố quan trọng, mà còn là rào cản lớn trong việc duy trì hiệu suất sản xuất.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Đèn gallium iodide phát ra bước sóng hẹp, khoảng 405 nm, tức là bước sóng phù hợp với khả năng hấp thụ của nhiều loại keo dùng trong quy trình đóng rắn bằng tia UV. Nhờ vậy, chúng ta không phải đối mặt với tác động của tia UV có bước sóng ngắn, gây ra nhiệt độ cao và lượng ozone dư thừa. Nguồn điện cung cấp cho đèn cần được kiểm soát chặt chẽ để đảm bảo công suất phát ra của đèn ổn định – nhờ đó, cường độ tia UV và mật độ năng lượng cung cấp cho mỗi cm² luôn ổn định. Chúng ta cũng cần điều chỉnh nguồn điện sao cho phù hợp với đặc tính điện của đèn, đồng thời kiểm soát nhiệt độ của đèn trong suốt hàng nghìn chu kỳ hoạt động.
Tại sao điều này lại phù hợp với quy trình tách keo trên wafer
Chúng ta cần phải phá vỡ liên kết giữa keo và bề mặt wafer một cách nhanh chóng, đồng thời giảm thiểu việc làm nóng bề mặt wafer. Đèn gallium iodide phát ra bước sóng phù hợp để phá vỡ liên kết keo một cách nhanh chóng, đồng thời giữ nhiệt độ ở mức thấp. Kết quả là quá trình tách keo diễn ra nhanh hơn, ít xảy ra tình trạng keo bị cháy hoặc chưa kịp đông cứng. Tuổi thọ của đèn cũng được kéo dài – thường lên tới 5.000 giờ nếu công suất phát ra của đèn được kiểm soát tốt. Ngoài ra, việc sử dụng đèn gallium iodide còn giúp tiết kiệm năng lượng, vì bước sóng tia UV được kiểm soát chặt chẽ, và nguồn điện cũng không cần phải cung cấp quá nhiều năng lượng cho đèn.
Những điều cần lưu ý
Đèn gallium iodide đòi hỏi phải có nguồn điện riêng được điều chỉnh phù hợp với đặc tính điện của chúng; chúng không thể thay thế ngay lập tức cho các hệ thống sử dụng khí thủy ngân thông thường. Việc căn chỉnh gương phản xạ cũng rất quan trọng; bụi bẩn trên đèn hay gương phản xạ có thể làm giảm hiệu suất phát ra của đèn. Hãy đảm bảo rằng cảm biến tia UV của bạn được calibrate ở bước sóng 405 nm; nếu cảm biến được thiết lập ở bước sóng 365 nm, kết quả đo lường sẽ không chính xác. Ngoài ra, việc kiểm soát nhiệt độ của đèn cũng rất quan trọng – nhiệt độ ổn định sẽ giúp đảm bảo chất lượng tia UV phát ra và kéo dài tuổi thọ của đèn.